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电子超纯水设备
2018-04-27 11:00:56 来源：
电子超纯水设备
电子超纯水设备是电子行业用水，保证电子产品质量安全和电子行业健康运行的一种水处理设备。电子超纯水设备适用于集成电路生产中高纯水清洗硅片、半导体材料、晶元材料生产、加工，凯聚达的电子工业设备广泛的用于在电子行业中，而且在电子行业中的地位更是蒸蒸日上成为业内发展的主导者。
去离子水、超纯水在电子工业主要是线路板、电子元器件生产中的起到重要的作用，去离子、超纯水水质已成为影响线路板、电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一，水质要求也越来越高。在电子元器件生产中，去离子水、超纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料，不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。
在晶体管、集成电路生产中，超纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片，水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属（K、Na等）会使绝缘膜耐压不良，重金属（Au、Ag、Cu等）会使PN结耐压降低，Ⅲ族元素（B、Al、Ga等）会使N型半导体特性恶化，Ⅴ族元素（P、As、Sb等）会使P型半导体特性恶化，水中细菌高温碳化后的磷（约占灰分的20-50%）会使P型硅片上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏，水中的颗粒（包括细菌）如吸附在硅片表面，就会引起电路短路或特性变差。
由此可见，电子行业对用水水质标准要求非常高，然而电子超纯水设备是电子行业用水的必不可少的重要设备。
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